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四模态匹配三轴硅微陀螺仪
被引量:
2
1
作者
夏敦柱
孔伦
虞成
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期2326-2332,共7页
为了实现单片集成六自由度微惯性测量单元,提出了一种改进的由4个大质量块和4个小质量块组合而成的四方全对称结构的三轴陀螺仪。介绍了该惯性测量元件的结构及工作原理,根据结构参数计算出了详细的性能指标,并进行了面内驱动模态和面...
为了实现单片集成六自由度微惯性测量单元,提出了一种改进的由4个大质量块和4个小质量块组合而成的四方全对称结构的三轴陀螺仪。介绍了该惯性测量元件的结构及工作原理,根据结构参数计算出了详细的性能指标,并进行了面内驱动模态和面内外的敏感模态仿真。为提高各敏感模态的机械灵敏度,提出采用双重静电频率调谐方案,即先对公共质量块施加调谐电压,使驱动模态和航向模态的频差最小;再对小质量块上方的多晶硅电极施加另外的调谐电压,最终使四模态频率偏差小于30 Hz,从而说明该频率调谐方法是有效的。然后,通过分析热弹性阻尼能量耗散机理,对驱动及敏感谐振模态的品质因数进行仿真。结果表明:真空环境不考虑空气阻尼情况下,两种模态的品质因数分别为23816和19 507。最后,基于表面加工和体加工工艺,设计了高深宽比的加工流程。对该四方对称解耦结构的设计和仿真表明其模态匹配和品质因数性能满足三轴陀螺的设计要求。
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关键词
三轴陀螺
模态匹配
正交十字梁
热弹性阻尼
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职称材料
题名
四模态匹配三轴硅微陀螺仪
被引量:
2
1
作者
夏敦柱
孔伦
虞成
机构
东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期2326-2332,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.61001048)
东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室基金资助项目(No.KL201102)
+1 种基金
东南大学基本业务费重大引导基金资助项目(No.3222002107)
江苏省自然科学基金资助项目(No.BK20131295)
文摘
为了实现单片集成六自由度微惯性测量单元,提出了一种改进的由4个大质量块和4个小质量块组合而成的四方全对称结构的三轴陀螺仪。介绍了该惯性测量元件的结构及工作原理,根据结构参数计算出了详细的性能指标,并进行了面内驱动模态和面内外的敏感模态仿真。为提高各敏感模态的机械灵敏度,提出采用双重静电频率调谐方案,即先对公共质量块施加调谐电压,使驱动模态和航向模态的频差最小;再对小质量块上方的多晶硅电极施加另外的调谐电压,最终使四模态频率偏差小于30 Hz,从而说明该频率调谐方法是有效的。然后,通过分析热弹性阻尼能量耗散机理,对驱动及敏感谐振模态的品质因数进行仿真。结果表明:真空环境不考虑空气阻尼情况下,两种模态的品质因数分别为23816和19 507。最后,基于表面加工和体加工工艺,设计了高深宽比的加工流程。对该四方对称解耦结构的设计和仿真表明其模态匹配和品质因数性能满足三轴陀螺的设计要求。
关键词
三轴陀螺
模态匹配
正交十字梁
热弹性阻尼
Keywords
tri-axis gyroscope
mode matching
crossing tether
hermoelastic damping
分类号
U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
四模态匹配三轴硅微陀螺仪
夏敦柱
孔伦
虞成
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
2
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