期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
正交图形簇畸变的校正研究及计算机仿真处理
1
作者
姚作宾
胡咏梅
肖义青
《微细加工技术》
2001年第2期31-34,共4页
论述了电子束扫描正交图形簇产生畸变的非线性校正过程。通过几种典型的图形分析研究 ,推导出有关的校正函数 ,并运用计算机进行了该畸变图形的仿真处理及验证。
关键词
正交图形簇
畸变
非线性校
正
计算机仿真
电子束曝光机
下载PDF
职称材料
题名
正交图形簇畸变的校正研究及计算机仿真处理
1
作者
姚作宾
胡咏梅
肖义青
机构
山东大学南校区控制科学与工程学院
出处
《微细加工技术》
2001年第2期31-34,共4页
文摘
论述了电子束扫描正交图形簇产生畸变的非线性校正过程。通过几种典型的图形分析研究 ,推导出有关的校正函数 ,并运用计算机进行了该畸变图形的仿真处理及验证。
关键词
正交图形簇
畸变
非线性校
正
计算机仿真
电子束曝光机
Keywords
scanning field
orthogonal pattern group
distortion
nonlinear correction
computer simulation
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
TP391.9 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
正交图形簇畸变的校正研究及计算机仿真处理
姚作宾
胡咏梅
肖义青
《微细加工技术》
2001
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部