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正交图形簇畸变的校正研究及计算机仿真处理
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作者 姚作宾 胡咏梅 肖义青 《微细加工技术》 2001年第2期31-34,共4页
论述了电子束扫描正交图形簇产生畸变的非线性校正过程。通过几种典型的图形分析研究 ,推导出有关的校正函数 ,并运用计算机进行了该畸变图形的仿真处理及验证。
关键词 正交图形簇 畸变 非线性校 计算机仿真 电子束曝光机
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