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题名磁悬浮转子微陀螺旋转驱动方式研究
被引量:2
- 1
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作者
邵诗逸
黄晓刚
刘武
陈文元
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机构
上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微纳米加工国防实验室
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出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期111-113,117,共4页
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基金
国家高技术研究发展(863)计划资助项目(2002AA745120)
国家自然科学基金资助项目(60402003)
+1 种基金
上海市科委重大专项基金
教育部科学技术项目重大项目资助(0307)
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文摘
介绍了基于MEMS技术的磁悬浮转子微陀螺的旋转原理,进行了针对旋转力矩的仿真;在此基础上,给出了相应实现方案的指标分析和系统设计。经过实际测试,旋转驱动后,微陀螺可以得到均匀快速的旋转效果,为下一步陀螺效应的研究打下了基础。
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关键词
磁悬浮转子
微陀螺
文氏桥
移相
正交驱动
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Keywords
Magnetically levitated rotator
Micromachined gyroscope
Wein Bridge
Phase shift
Quadratured drive
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分类号
V241.5
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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题名磁悬浮转子微陀螺旋转驱动电路设计
被引量:2
- 2
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作者
邵诗逸
黄晓刚
刘武
陈文元
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机构
上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微纳米加工国防实验室
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006年第2期83-85,共3页
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基金
国家"863"计划资助项目(2002AA745120)
国家自然科学基金资助项目(60402003)
上海市科委重大专项基金资助项目
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文摘
介绍了基于MEMS技术的磁悬浮转子微陀螺的基本原理,重点对旋转的原理进行讨论,给出相应实现方案的指标分析和系统设计,并进行了实验。经过驱动后,微陀螺可以得到3 000 r/m in的旋转效果,并对旋转的转速和力矩进行了分析。
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关键词
微陀螺
文氏桥
移相
正交驱动
微机电系统
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Keywords
micromachined gyroscope
Wein bridge
phase shift
quadratured drive
MEMS
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分类号
V241.5
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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