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正压氦质谱检漏灵敏度的校准和微流量的测量 被引量:13
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作者 张启亮 谷京华 +3 位作者 朱秀珍 陈旭 查良镇 李明蓬 《真空》 CAS 北大核心 1996年第2期25-31,共7页
本文讨论了常用正压氦质谱检漏方法中实现灵敏度校准需要解决的主要问题。提出了几种简单的微流量测量方法,估算了其检测限,讨论了影响测量精度的一些因素。对吸枪法正压检漏灵敏度的实时校准进行了实验研究。
关键词 测量 真空检漏 灵敏度 微流量 正压氦质谱
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氦质谱正压检漏——吸枪积累法
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作者 郭君强 梁进忠 李树德 《真空》 CAS 北大核心 1997年第6期31-34,共4页
本文对氦质谱正压检漏的一般技术要求,如:被检系统的包封、积时间、探测时间。
关键词 质谱正压检漏 质量控制 检测技术 真空检漏
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氦质谱正压检漏 被引量:2
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作者 郭君强 梁进忠 李树德 《航天工艺》 1995年第2期34-37,共4页
对氦质谱正压检漏的一般技术要求,如被检系统的包封、积累时间、探测时间及定量系统的校准、使用等做了介绍。
关键词 质谱正压检漏 质量控制 检测 检漏
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