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题名采用正弦微窗光栅的位移传感器
被引量:4
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作者
王春海
张国雄
郭尚旗
马新辉
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机构
天津大学精密仪器工程系
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第9期1153-1157,共5页
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文摘
研制了一种新型的光栅位移传感器, 它采用了一种被作者称为正弦微窗光栅的新元件作为指示光栅, 用于消除光栅信号中的高次谐波。所谓正弦微窗光栅是一种由许多微小的正弦窗孔排列组成的光栅。介绍了采用光学图形发生器和刻蚀镀膜工艺制造这种光栅的方法, 并将制成的正弦微窗光栅用于光栅位移传感器的设计。实验表明, 新型传感器能够很好地抑制光栅信号中的高次谐波, 可将高次谐波总量降至基波的2% 以下。
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关键词
正弦微窗光栅
位移传感器
谐波
传感器
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Keywords
sine micro window grating, displacement encoder, harmonics.
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH741.6
[机械工程—光学工程]
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题名光学传感、传感器
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出处
《中国光学》
EI
CAS
2000年第4期80-81,共2页
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文摘
TM452.93 2000042779三相光学电流互感器系统的建模=Modeling ofthree-phase optical current transducer systems[刊,中]/刘晔,王采堂,苏彦民,金凌江(西交通大学.陕西,西安(710049))//西安交通大学学报.—1999,33(12).—23—25,39提出了一种全新的用于测量电力系统三相电流的光学电流互感器系统。
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关键词
三相光学电流互感器
正弦微窗光栅
电力系统
方法建立
矩阵光学
三相电流
光栅位移传感器
西安交通大学
测量
电容层析成像传感器
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分类号
TP212.14
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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