用电子束工艺反转制造1:1精密掩模的工艺技术研究

本文主要描述了用电子束工艺反转技术制造1：1精密掩模的新方法，给出了从基本原理入手来确定工艺流程和选定工艺条件的过程，并给出制作实例说明了该项技术所取得的经济效益和社会效益。