TiAlN涂层表面残余应力主应力状态实验研究

利用X射线衍射法对TiAlN涂层的残余应力主应力状态进行了实验研究，并通过二向应力状态分析法，求得了TiAlN涂层的残余应力主应力和方向角，并且其与实验测量结果偏差为4％～14％，验证了二向应力解析法在残余应力检测方面的可靠性。实验结果表明，随TiAlN涂层厚度的增大，涂层的残余应力主应力不断减小，有效地阻止了涂层与基体的剥离，具有重要的现实意义。