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上海光源溅射离子泵性能测试
1
作者
李波
刘俊男
+2 位作者
张敏
薛松
陈明
《真空》
CAS
2021年第3期13-16,共4页
本文详细介绍了上海光源常用溅射离子泵性能测试的方法和原理,并对极限真空度,有效抽速,洁净度进行了测试。结果表明,溅射离子泵的极限真空度测量值都满足≤5.0×10^(-8)Pa的指标要求。SIP200和SIP400的氮气再生抽速最大值均超过了...
本文详细介绍了上海光源常用溅射离子泵性能测试的方法和原理,并对极限真空度,有效抽速,洁净度进行了测试。结果表明,溅射离子泵的极限真空度测量值都满足≤5.0×10^(-8)Pa的指标要求。SIP200和SIP400的氮气再生抽速最大值均超过了各自的名义抽速,对惰性气体(氩气)的饱和抽速最大值也超过了名义抽速的60%。通过四极质谱计测得的残气谱图得出溅射离子泵的洁净度达到了上海光源光束线的洁净要求。经过测试的溅射离子泵安装到光束线上均能正常工作,动态真空满足设计指标。
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关键词
同步辐射
超高真空
溅射离子泵
极限真空度
抽速
残气谱图
下载PDF
职称材料
题名
上海光源溅射离子泵性能测试
1
作者
李波
刘俊男
张敏
薛松
陈明
机构
中国科学院上海应用物理研究所
中国科学院上海高等研究院
出处
《真空》
CAS
2021年第3期13-16,共4页
基金
高性能离子泵在同步辐射装置上的应用开发与示范(2017YFF0105803)。
文摘
本文详细介绍了上海光源常用溅射离子泵性能测试的方法和原理,并对极限真空度,有效抽速,洁净度进行了测试。结果表明,溅射离子泵的极限真空度测量值都满足≤5.0×10^(-8)Pa的指标要求。SIP200和SIP400的氮气再生抽速最大值均超过了各自的名义抽速,对惰性气体(氩气)的饱和抽速最大值也超过了名义抽速的60%。通过四极质谱计测得的残气谱图得出溅射离子泵的洁净度达到了上海光源光束线的洁净要求。经过测试的溅射离子泵安装到光束线上均能正常工作,动态真空满足设计指标。
关键词
同步辐射
超高真空
溅射离子泵
极限真空度
抽速
残气谱图
Keywords
synchrotron radiation
ultrahigh vacuum
ion pump
ultimate vacuum
pumping speed
RGA
分类号
TL503.7 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
上海光源溅射离子泵性能测试
李波
刘俊男
张敏
薛松
陈明
《真空》
CAS
2021
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