精密光机组件超洁净清洗的表面活性剂清洗性能研究

面向高功率激光装置等复杂光机系统内精密光机组件表面超洁净清洗的需求,优选典型的水基清洗剂,通过测试清洗力的方式,研究了水基清洗剂的主要成分对304不锈钢材料表面痕量有机污染物去除的影响规律,并采用接触角的方式判定了表面残余有机污染物的量。通过优化设计304不锈钢材料的超洁净清洗工艺流程,测量不同工序后残余液体的p H值和导电性,掌握了水基清洗剂的易漂洗特性。该研究为复杂光机系统精密光机组件超洁净清洗的表面活性剂的选择及性能评估提供技术支撑。