基于Cr原子光刻技术的nm光栅间距比对测量定值方法研究

建立了一种基于Cr原子光刻技术的nm光栅间距比对测量定值方法。以国家自溯源光栅标准物质来建立标准样板校准溯源体系的可行性为基础,保障测量仪器更高精度、可溯源性;设计并制备了节距长度有序递增的多周期电子束直写光栅样板,满足可适配于不同分辨率的nm测量仪器的需求,名义节距值分别为200、400、600、800、1 000 nm。经国家自溯源光栅标准物质比对后的AFM完成对nm栅格标准样板的测量与表征,实验表明:电子束直写制备的光栅标准样板均匀性水平1 nm,相对不确定度低于2%,光栅均具有良好的均匀性、准确性以及稳定性,验证了研制的光栅标准样板能作为一种理想的实物标准运用于nm几何量量值溯源体系。

铀同位素标样基体材料铀含量定值研究

对经过均匀化处理的八氧化三铀物料,在分析样本总体上均匀地截取三个层面,在每一个层面按相隔120°的角度径向随机确定三个取样径向点,使用自动电位滴定法对铀含量进行均匀性检验,采用F检验法和SH值检验组间差显著性,对铀同位素标样进行了均匀性检验数据分析,检验结果表明,铀同位素标样的铀含量分布不均匀性指标S_(H)/x均小于0.1%,满足物理设计要求。对标准样品比对定值中引入的随机不确定度和系统不确定度进行评估、合成,当置信度为95%时,铀含量的相对不确定度为0.065%,其测量不确定度已达到美国同类标准样品水平的测量不确定度水平。

氮中二氧化碳气体标准物质

介绍了生产国家二级氮中二氧化碳气体标准物质的制备、实验方法和结果,采用气相色谱进行分析评估并考查了整个制备过程中的均匀性和稳定性。给出了氮中二氧化碳气体标准物质不确定度的计算及其不确度的量值。