激光外差干涉仪相位计的设计

外差信号的比相处理是决定外差干涉仪精度、分辨率等性能的重要因素。为了解决比相计的分辨率和检测速度之间的矛盾,采用比相方法进行了测量原理、应用特点及局限性的理论分析,给出了相应的解决方案。结果表明,基于现场可编程门阵列的整周期采样可以提高自相关方法的测量精度,混频过零检测方法可以提高测量速度。

传动误差比相测量方法的分析与比较

对传动链误差的比相测量方法进行了归纳，分析了各种方法的测量特性、误差因素及适用的传动比范围，阐明了传动误差测量技术的发展趋势。