环境扫描电子显微镜工作原理及实现

系统介绍了环境扫描电子显微镜(ESEM)的研制历程和采用的关键技术。从常规扫描电子显微镜(SEM)的基本工作原理出发,列出了SEM成像信号产生的方式及特点。针对SEM在实际应用中暴露出的缺陷,ESEM提出了解决问题的措施。多重狭缝的采用,使样品室内压强可以大幅提高;而气体二次电子探头(GSED)的发明,使作为成像信号的二次电子信号得到加强。

环境扫描电子显微镜的成像特点

环境扫描电子显微镜(ESEM)中所指的环境并非真正意义上的大气环境(760 Torr),与传统扫描电子显微镜(SEM)样品室高真空度相比,ESEM样品室的真空度可以很低(约达20 Torr)。ESEM是在传统的SEM样品室中多一个GSED探头,因此,它在传统的SEM基础上增添了新的功能。其主要的特点是,可以观察含适量水分的样品和非导体材料样品,比如植物的叶片、动物中的昆虫、作物的籽粒、含结晶水的固体材料等。

对环境扫描电子显微镜(ESEM)的认识

环境扫描电子显微镜 (ESEM)中所指环境并非真正意义上的大气环境 ,与传统SEM样品室高达 10 -3 ～10 -6Torr的真空度相比 ,ESEM样品室的真空度很低 ,从 1Torr～ 2 0Torr ,非常接近大气环境 ,但不等同于平均 76 0Torr的大气环境 ;环境方式下最适宜观察的生物样品应是那些表面有角质层覆盖的样品和含水量很低的样品 ,比如植物的叶片、动物中的昆虫、作物的籽粒等 ,这类样品易于保持新鲜度 ;环境方式下对样品的观察和图像的记录等操作应尽快完成 。

扫描电子显微镜探头新进展

介绍了扫描电子显微镜 (SEM)信号探头研究的最新成果。针对常规扫描电子显微镜缺陷而开发的新型探头不仅改善了仪器成像质量 ,也极大地扩展了仪器的使用范围 ,简化了样品的准备工作过程。

生物样品的环境扫描电镜观察

用环境扫描电镜观察动物、植物、微生物等生物样品。通过对环境条件的比较 ,发现样品温度 4～ 6℃ ,样品室气压 6 93× 10 2 ～ 7 86× 10 2 Pa,相对湿度 85%是合适的环境条件 ,在这一条件下 ,多数生物样品既不发生表面凝聚水滴也不发生脱水 ,而且死后变化小 ,没有充放电现象 ,能获得满意的结果。

环境扫描电镜工作原理及应用

介绍了环境扫描电镜(ESEM)的工作原理及其在各类材料中的应用。ESEM继承了扫描电镜(SEM)的全部优点,在聚合物材料、非导电晶体材料、压电晶体材料、含水生物样品等的研究中得到广泛应用,并显示出其具有制样简单、样品室环境可变、有独特的像衬度原理、可观察动态过程等独特优点;ESEM尤其可以消除普通SEM无法观察含水样品以及镀导电层会掩盖样品表面精细结构的缺点。但ESEM依然还存在气体环境会对电镜造成污染、无法避免电子束轰击对样品表面造成损伤等缺点。