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内腔室结构对氧气传感器的性能影响研究 被引量:5
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作者 程迎国 周明军 +2 位作者 郝玉芳 朱保峰 刘智敏 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第10期9-10,共2页
介绍了一种制作陶瓷内腔室的工艺方法,该方法可以应用于制作氧化锆氧气传感器内部的气体腔室,包含极限电流氧气传感器、分压型氧气传感器等,并可以对腔室体积自由控制,屏弃了传统方法利用玻璃封接来实现的工艺步骤。以极限电流氧气传感... 介绍了一种制作陶瓷内腔室的工艺方法,该方法可以应用于制作氧化锆氧气传感器内部的气体腔室,包含极限电流氧气传感器、分压型氧气传感器等,并可以对腔室体积自由控制,屏弃了传统方法利用玻璃封接来实现的工艺步骤。以极限电流氧气传感器为例,研究了内腔室结构对传感器的性能影响,对提高氧气传感器的响应时间和可靠性具有指导意义。 展开更多
关键词 氧气传感器 极限电流 气体内腔室
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