PowerMEMS气体动压径向轴承承载能力的分析

在微尺度条件下,为了实现超高能量密度的目标,PowerMEMS通常要求其轴承转速达到106 r/min数量级以上,于是提出了微尺度超高转速气体动力润滑轴承的研究。论述了气体动力润滑轴承的微尺度结构特征,提出了PowerMEMS气体动压径向轴承承载能力的验算方法,分析了微尺度条件下气体动压径向轴承结构参数对轴承承载能力的影响。