CVI反应器气体流动可视化发烟系统

ＣＶＩ反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。本文介绍了一种基于ＴｉＣｌ４与Ｈ２Ｏ反应产生ＴｉＯ２烟雾而设计的发烟系统，能使模拟ＣＶＩ反应器内复杂的与不要观察的气体流动现象可视化。该系统结构简单，可操作性强，形成的烟流总量与密度可调且长时间可视，均匀，流场照片表明其发烟效果很好，能满足ＣＶＩ反应器内气体流场的显示研究。

优化设计CVI反应器结构的流体可视化研究

CVI反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。本文在研制了一套结构简单、可操作性强的气体流动可视化设备的基础上 ,通过流场模拟研究 ,得到的结果是 :1在底部进气方式中 ,采用涡流器与多孔整流器 ,能消除中心射流与减小上部回流区域 ,扩大反应器的有效使用空间 ;使衬底与气体主流方向成一定的夹角 ,能有效阻止气体边界层的分离。 2在侧向进气方式中 ,气体采用 30°喷嘴与衬底成 30°角喷入 ,能在圆柱形衬底面上形成较理想的边界层 ;增大衬底直径有利于消除反应器内的下部回流区。