气体中痕量水蒸气测量技术进展

气体中水蒸气含量测量在工业生产和科研领域发挥至关重要的作用。随着许多工业生产和科研领域对气体水分含量更加严格的测试要求,对于气体中水蒸气含量测量灵敏度的要求也越来越高。目前测量nmol/mol痕量水分的仪器方法有可调谐二极管激光吸收光谱法、光腔衰荡光谱法、大气压离子质谱仪法;达到这个痕量水平的传感器类测量技术有石英晶体微天平法、冷镜露点法、阻容法、电解法。针对这些测量方法的优缺点以及今后的发展趋势进行了论述分析,通过克服测量过程中的干扰因素,可在一定的程度上提高痕量水含量的测量准确性,对促进痕量水含量准确测量技术的发展有所裨益。