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某超大规模集成电路厂房纯气体管道工程
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作者 陈平 周志刚 《空调暖通技术》 2004年第1期24-27,共4页
简述某工程高纯气体管道系统设计中气体管道材料的选用及设计对管道的施工安装,试压及验收的要求。
关键词 超大规模集成电路 气体管道工程 安装 过滤器 洁净厂房
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