高气压非平衡等离子体源的小型化研究

大气压非平衡等离子体源输出的等离子体浓度是电离电场中能耗率、气体粒子动量的的函数.实验表明,等离子体源中的能耗率、气体粒子动量增加时,将大幅度提高其等离子体浓度.当外加激励电场能耗率为2.18W·h/m3、气体粒子平均动量为109×10?22g·m/s时,一个体积仅为2.5cm3的等离子体源处理气量为12m3/h,其输出等离子体浓度达到1010cm?3以上,这将为化学工业、环保工程及军事应用提供小型、低能耗的高浓度等离子体源.