气囊气缸式真空紫外纳米压印设备研制

本文介绍了紫外纳米压印技术原理,以及工艺中模板与基片的平行度对压印质量的影响。研制了气囊气缸式真空紫外纳米压印设备,其通过气囊气缸使模板与基片平行,从而可在大面积基片上确保压力均匀。研制了相应的光学系统,着重讨论了如何实现紫外纳米压印以及光学系统的设计和调整。制备了石英玻璃模板,实现了在商用紫外固化聚合物OG154上的紫外纳米压印,转移复制了具有100nm特征的5cm×5cm面积的纳米结构图形。

多管推进式塔炉进出料循环落料装置改进

针对多管推进式塔炉进出料循环系统在实际生产中存在落料机构叶片磨损严重,周转料仓落料时出现物料篷空、堆积的问题,通过在落料架上加装气囊式推升增力气缸、增压缸、储气罐、气动振动器,以及在料仓内加装锥阀装置,改进了落料机构,使问题得到解决。