硅莫砖的脆塑性变形特征与高角气固冲蚀机制的关联

以硅莫砖为靶材,在25~1 200℃温度范围内进行弯曲应力–应变曲线测试和垂直气固冲蚀磨损试验,借助扫描电子显微镜观察靶材冲蚀后形貌,研究其脆塑性变形特征与高角冲蚀下的常温/高温气固冲蚀机制,并阐明两者的关联性。结果表明：硅莫砖冲蚀磨损率随冲蚀温度的增加而减小,1 200℃出现最小值0.95 mm^3/g;开始的塑性变形温度为800℃;在弹性变形阶段（25~800℃）,冲蚀磨损率与抗折强度成反比,主要冲蚀机制是冲击应力下骨料与基质的脆性断裂;在塑性变形阶段（800~1 200℃）,冲蚀磨损率与塑性应变量成反比,与弹性模量成正比,塑性变形逐渐成为主要冲蚀机制,是否伴随脆性断裂,由骨料和基质的临界断裂应力决定;本实验条件下800℃时主要冲蚀机制为微切削和基质断裂,1 200℃时仅为微切削。