ZnO/TiO_2多层薄膜氨气敏光学特性研究

介绍用S G法制备了ZnO/TiO2 多层薄膜的方法 ,研究了在几种还原性气体中的气敏透射光谱 ,发现其对氨气具有优良的选择性 ,且其光学透过率在一定浓度范围内随氨蒸气浓度增加而显著地单调上升 ,敏感波段扩展到整个可见光区域。这是一种有实用价值的气敏光纤传感材料。

Sn0_2:La薄膜的气敏光学特性研究

本文作者研究了掺入稀土元素La的二氧化锡薄膜的气敏光学效应。测量了它在氨及乙醇气氛下的透射光谱。实验结果表明:薄膜的灵敏度有所提高,选择性有所改善。本文用表面能级分裂理论解释了气敏光学机理。

杂质银对氧化锌薄膜气敏光学特性的影响

用反应式射频磁控溅射方法制备了纯氧化锌（ＺｎＯ）薄膜和掺Ａｇ的ＺｎＯ气敏光学传感薄膜。测量了这些薄膜在ＮＯｘ气体中的透射光谱，然后由透射光谱获得了灵敏度的变化规律，发现掺Ａｇ后的ＺｎＯ薄膜对ＮＯｘ气体的灵敏度高于纯ＺｎＯ薄膜，用俄歇电子能谱（ＡＥＳ）测试了这些薄膜的组分，发现当掺Ａｇ量为５％时灵敏度最高。并结合朗缪尔（Ｌａｎｇｍｕｉｒ）型吸附平衡关系式解释了这些现象，理论和实验结果能很好地相符。

SnO_2簿膜(掺Sb)光学气敏选择性的实验研究

郑顺旋等人观察到常用的气敏-电阻型材料氧化锡薄膜的光学性质和气敏特性有关.这一发现突破了近半个世纪以来氧化物的气敏特性仅与电阻有关的模式.使得可以用光学量去探索至今还未清楚的氧化物气敏机理.也为新型气敏传感技术提供了有效的敏感材料.然而与气敏-电阻效应一样,纯SnO_2器件的气敏-光学效应对各种还原性气体的灵敏度几乎相同,因此制造出气体选择性良好的元件很不容易.为了提高SnO_2薄膜气敏光学效应的气体选择性,在纯SnO_2薄膜中掺杂了0.1wt%的Sb.