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HFCVD金刚石膜过程的气氛模拟与分析
被引量:
2
1
作者
戚学贵
陈则韶
+2 位作者
常超
王冠中
廖源
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期200-206,共7页
对热丝法化学气相沉积金刚石膜过程的气氛进行了模拟与分析.使用GRI-Mech3.0甲烷燃烧过程C/H/O/N四元体系热化学反应机理和动力学数据,模拟并分析了HFCVD金刚石膜的C/H气相化学反应,通过对反应流的简单模拟得到了衬底位置气相组成,结果...
对热丝法化学气相沉积金刚石膜过程的气氛进行了模拟与分析.使用GRI-Mech3.0甲烷燃烧过程C/H/O/N四元体系热化学反应机理和动力学数据,模拟并分析了HFCVD金刚石膜的C/H气相化学反应,通过对反应流的简单模拟得到了衬底位置气相组成,结果与前人实验数据吻合.探讨了灯丝温度、碳源浓度和碳源种类等因素变化对衬底位置气相组成的影响.结果表明甲基是金刚石膜生长最主要的前驱基团,其作用远高于乙炔,而超平衡态原子氢的存在对金刚石膜的质量至关重要.
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关键词
HFCVD
气氛模拟
热丝法化学气相沉积
金刚石膜
气相化学
前驱基团
成膜过程
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职称材料
浅谈灯光模拟气氛在展示设计中的运用
2
作者
张彤
《艺术科技》
2015年第11期70-,共1页
灯光在展示设计中能够起到营造气氛、增强空间感染力和表现力的重要作用。在展示设计中,对灯光模拟气氛的运用提出了功能性和艺术性两方面的设计要求,还要有信息传达、情感暗示等表现效果。
关键词
灯光
展示设计
模拟
气氛
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职称材料
2205双相不锈钢的高温氧化行为研究
3
作者
骆素珍
《宝钢技术》
CAS
2019年第4期50-57,共8页
利用高温热天平测量了2205双相不锈钢在模拟甲烷燃烧气氛以及含水空气条件下的氧化增重。利用XRD和SEM分析了在不同气氛和温度条件下形成的氧化皮结构和组成。结果表明,在试验条件下,2205双相不锈钢在不同温度下的氧化动力学均遵循抛物...
利用高温热天平测量了2205双相不锈钢在模拟甲烷燃烧气氛以及含水空气条件下的氧化增重。利用XRD和SEM分析了在不同气氛和温度条件下形成的氧化皮结构和组成。结果表明,在试验条件下,2205双相不锈钢在不同温度下的氧化动力学均遵循抛物线规律,但在不同温度下氧化皮的组成和结构均有显著差别,针对氧化皮组成和结构不同的原因也进行了分析讨论,并根据氧化动力学规律和氧化皮特征提出了氧化皮的控制建议。
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关键词
双相不锈钢
高温氧化
模拟
燃气
气氛
含水空气
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职称材料
题名
HFCVD金刚石膜过程的气氛模拟与分析
被引量:
2
1
作者
戚学贵
陈则韶
常超
王冠中
廖源
机构
中国科学技术大学工程科学学院
中国科学技术大学物理系
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期200-206,共7页
基金
国家自然科学基金(59976038)
文摘
对热丝法化学气相沉积金刚石膜过程的气氛进行了模拟与分析.使用GRI-Mech3.0甲烷燃烧过程C/H/O/N四元体系热化学反应机理和动力学数据,模拟并分析了HFCVD金刚石膜的C/H气相化学反应,通过对反应流的简单模拟得到了衬底位置气相组成,结果与前人实验数据吻合.探讨了灯丝温度、碳源浓度和碳源种类等因素变化对衬底位置气相组成的影响.结果表明甲基是金刚石膜生长最主要的前驱基团,其作用远高于乙炔,而超平衡态原子氢的存在对金刚石膜的质量至关重要.
关键词
HFCVD
气氛模拟
热丝法化学气相沉积
金刚石膜
气相化学
前驱基团
成膜过程
Keywords
hot filament CVD
diamond films
gas chemistry
growth precursor
分类号
TB43 [一般工业技术]
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
浅谈灯光模拟气氛在展示设计中的运用
2
作者
张彤
机构
河南理工大学万方科技学院
出处
《艺术科技》
2015年第11期70-,共1页
文摘
灯光在展示设计中能够起到营造气氛、增强空间感染力和表现力的重要作用。在展示设计中,对灯光模拟气氛的运用提出了功能性和艺术性两方面的设计要求,还要有信息传达、情感暗示等表现效果。
关键词
灯光
展示设计
模拟
气氛
分类号
J525.2 [艺术—艺术设计]
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职称材料
题名
2205双相不锈钢的高温氧化行为研究
3
作者
骆素珍
机构
宝山钢铁股份有限公司中央研究院
出处
《宝钢技术》
CAS
2019年第4期50-57,共8页
文摘
利用高温热天平测量了2205双相不锈钢在模拟甲烷燃烧气氛以及含水空气条件下的氧化增重。利用XRD和SEM分析了在不同气氛和温度条件下形成的氧化皮结构和组成。结果表明,在试验条件下,2205双相不锈钢在不同温度下的氧化动力学均遵循抛物线规律,但在不同温度下氧化皮的组成和结构均有显著差别,针对氧化皮组成和结构不同的原因也进行了分析讨论,并根据氧化动力学规律和氧化皮特征提出了氧化皮的控制建议。
关键词
双相不锈钢
高温氧化
模拟
燃气
气氛
含水空气
Keywords
duplex stainless steel
high temperature oxidation
simulated gas atmosphere
water-containing air
分类号
TG142.71 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
HFCVD金刚石膜过程的气氛模拟与分析
戚学贵
陈则韶
常超
王冠中
廖源
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
2
下载PDF
职称材料
2
浅谈灯光模拟气氛在展示设计中的运用
张彤
《艺术科技》
2015
0
下载PDF
职称材料
3
2205双相不锈钢的高温氧化行为研究
骆素珍
《宝钢技术》
CAS
2019
0
下载PDF
职称材料
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