垂直单向流洁净室高架地板布置研究

为了探究垂直单向流洁净室高架地板最优布置规则,建立典型垂直单向流洁净室数值计算模型,以高架地板布置形式为影响因子,设置6种计算工况,通过现场实测验证模型的准确性。结果显示:洁净室内气流组织受高架地板布置影响,风机过滤机组(FFU)下方0.62 m以下区域,不同布置形式下工作面最大气流偏移角相差10.9倍、速度不均匀度相差2.9倍。通过对比分析提出垂直单向流洁净室高架地板布置建议,为垂直单向流洁净室在设计和运维过程中的气流组织优化提供参考。