用气熔压工艺改善6μm MCP的空间结构和视场清晰度

高分辨率微光像增强器对微通道板(MCP)的孔径、空间结构和视场清晰度有着极为严格的技术要求。我们在引进的气熔压设备上,通过对压力、温度、保温保压时间等相互制约的工艺参数进行大量实验,已探索出孔径为6μm、孔间距为8μm的MCP的最佳工艺,即第一平台温度为500℃左右、熔压温度为560～590℃、压力为0.5～0.9Mpa,保温保压时间为60min左右。在光学显微镜和扫描电子显微镜下观察我们制作的MCP,发现复丝排列规整、边界相邻的两排单丝变形较小且排列有序、复丝顶角无畸变(即无扭曲、梅花丝、孔洞、错位)。与Pho-tonis公司同种型号的MCP相比,我们制作的MCP的梅花丝少1/3左右。在标准输入下,我们的MCP增益比较高,增益均匀性有所改善,固定图像噪声在0～1级,视场清晰度得到了较大程度的提高。