气相质子交换LiTaO3光波导及其特性

本文利用苯甲酸气相质子交换技术制备了LiTaO3光波导，测量了Z-切LiTaO3光波导的参数（交换深度d和表面折射率增量△nc）和X-切LiTaO3光波导的红外吸收谱，给出了光波导层的折射率分布，并与液相质子交换热退火光波导的结果进行了比较。实验结果表明：非寻常折射率分布与热退火液相质子交换方法制备的LiTaO3光波导基本相近，但表面非寻常折射率增量（△nc）更大，其折射率分布更接近于高斯型。

气相质子交换法

质子交换法是制作铌酸锂光波导的常用方法,介绍了液相和气相质子交换法制作光波导的原理及工 艺,对气相法形成波导的损耗比较低的机理进行了探讨,并且提出了提高质子交换速度的方法。