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真空系统漏油情况的系统分析
1
作者
黄坚
耿佐力
《洁净与空调技术》
2009年第1期63-65,68,共4页
以某微电子工程真空系统为例,对其漏油故障进行分析,并给出检修思路和故障排除方法。
关键词
真空系统
旋片式真空泵
真空
阀
气镇阀
漏油
下载PDF
职称材料
题名
真空系统漏油情况的系统分析
1
作者
黄坚
耿佐力
机构
江苏苏净科技有限公司
出处
《洁净与空调技术》
2009年第1期63-65,68,共4页
文摘
以某微电子工程真空系统为例,对其漏油故障进行分析,并给出检修思路和故障排除方法。
关键词
真空系统
旋片式真空泵
真空
阀
气镇阀
漏油
Keywords
Vacuum system
Rotary vane vacuum pump
Vacuum valve
Pneumatic valve
Oil leak
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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作者
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1
真空系统漏油情况的系统分析
黄坚
耿佐力
《洁净与空调技术》
2009
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