JSR氟化氩光刻胶欲占全球市场40％以上份额

日本合成橡胶公司(JSR)宣布，公司的目标是其半导体用氟化氩(ArF)光刻胶要占到全球市场销售份额的40％以上。为达此目标，该公司将利用开发氟衰减器受激准分子激光(193nm波长)光刻胶获得的材料技术，努力提高光刻胶的透明度。透明的光刻胶有利于生产高分辨率的印制图象。

大幅减少环境负荷的金刚烷新生产法

日本出光兴产石油化学公司(Idemitsu Petrochemical)已开发成功生产C10化合物，即金刚烷的新方法，金刚烷是氟化氩(ArF)光刻胶的起始原料。由于新的生产方法使用一种沸石催化剂，故不产生大量难以处理的废催化剂(这是传统制法固有的问题)，因此新生产方法的环境负荷极低。和传统的间歇法不同，新生产法为连续法，这有助于衍生物质量的稳定化。