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氟化物溶液腐蚀后硅表面形态的STM与XPS研究 被引量:1
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作者 李静 吴孙桃 +1 位作者 叶建辉 LI S F Y 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期591-595,共5页
利用扫描隧道显微技术(STM)和X 射线光电子能谱(XPS)技术,研究了Si(111)在几种不同比例的NH4F HCl溶液中被腐蚀后的表面形态及洁净度.通过分析表面的STM图像与XPS谱图,表明在较高pH值的NH4F HCl溶液中被腐蚀的Si(111)表面粗糙度较小,且... 利用扫描隧道显微技术(STM)和X 射线光电子能谱(XPS)技术,研究了Si(111)在几种不同比例的NH4F HCl溶液中被腐蚀后的表面形态及洁净度.通过分析表面的STM图像与XPS谱图,表明在较高pH值的NH4F HCl溶液中被腐蚀的Si(111)表面粗糙度较小,且表面洁净度及化学稳定性较好. 展开更多
关键词 半导体工艺 湿法腐蚀 氟化物溶液 表面形态 洁净度 STM XPS 表面粗糙度 化学稳定性
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Si(100)在碱性氟化物溶液中的腐蚀行为 被引量:1
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作者 储清梅 刘翔 +1 位作者 张鹏翔 戴永年 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期940-942,共3页
本文用碱性氟化物溶液对单晶硅(100)表面进行了处理。结果发现其表面完全布满了类似金字塔的小凸起。在整个腐蚀过程中,小凸起随时间的延长变大,但数量却不断减少,这说明部分小凸起的成长是通过其周边小凸起的消亡实现的。在碱性氟化物... 本文用碱性氟化物溶液对单晶硅(100)表面进行了处理。结果发现其表面完全布满了类似金字塔的小凸起。在整个腐蚀过程中,小凸起随时间的延长变大,但数量却不断减少,这说明部分小凸起的成长是通过其周边小凸起的消亡实现的。在碱性氟化物溶液中,≡Si-H结构是稳定的,腐蚀主要发生在=SiH2或-SiH3的原子阶梯或缺陷存在的粗糙表面处。根据腐蚀速率和表面形貌的变化,我们对整个腐蚀过程作了进一步的阐释。 展开更多
关键词 单晶硅 腐蚀 碱性氟化物溶液
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氟化物溶液中化学镀铜的光谱研究
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作者 范宏义 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2002年第11期66-66,共1页
关键词 氟化物溶液 化学镀铜 光谱 研究
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极端溶液环境下的pH测量 Hydroflex氢参七匕电极可解决极端溶液下的pH测量问题
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作者 Hans-Joachin Kohnke 《实验与分析》 2011年第2期42-42,共1页
pH的测量可能因介质不同而出现不同问题,比如高浓度氟化物溶液的pH测量便一直是难题之一.本文介绍了选用氢参比电极对一些极端液体进行pH测量的方法。
关键词 氟化物溶液 PH测量 电极对 测量问题 环境 可解
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正畸治疗中牙釉质脱矿及氟化物的局部应用 被引量:2
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作者 胡炜 《中华口腔正畸学杂志》 1995年第4期172-174,共3页
正畸治疗中牙釉质脱矿及氟化物的局部应用胡炜综述周彦恒审校正常情况时牙釉质的脱矿与再矿化维持着一种动态平衡。当这种平衡被打破,脱矿过程占优势时则会导致牙釉质龋的发生。正畸治疗中,尤其在使用固定矫治器的过程中,牙釉质脱矿... 正畸治疗中牙釉质脱矿及氟化物的局部应用胡炜综述周彦恒审校正常情况时牙釉质的脱矿与再矿化维持着一种动态平衡。当这种平衡被打破,脱矿过程占优势时则会导致牙釉质龋的发生。正畸治疗中,尤其在使用固定矫治器的过程中,牙釉质脱矿较为常见,影响了矫治结果。预防和治... 展开更多
关键词 牙釉质脱矿 正畸治疗 氟化物溶液 治疗中 氟离子浓度 正畸患者 正畸托槽 含氟牙膏 氟涂料 局部应用
原文传递
从钛铁矿矿砂氢氟酸浸出液中回收钛
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作者 许孙曲 许菱 R.K.Biswas 《新疆有色金属》 1994年第3期63-65,共3页
本文采用下列步骤从钛铁矿的氢氟酸浸出液中回收了颜料级的二氧化钛[99.9%(wt)的TiO_2和0.004%(wt)Fe]:(1)用氢氧化钠溶液从氟化物浸出液中沉淀出Ti和Fe的化合物;(2)用HNO_3把Fe(Ⅱ)氧化成Fe(Ⅲ);(3)把固态物质溶于7.5M HCI中;(4)用... 本文采用下列步骤从钛铁矿的氢氟酸浸出液中回收了颜料级的二氧化钛[99.9%(wt)的TiO_2和0.004%(wt)Fe]:(1)用氢氧化钠溶液从氟化物浸出液中沉淀出Ti和Fe的化合物;(2)用HNO_3把Fe(Ⅱ)氧化成Fe(Ⅲ);(3)把固态物质溶于7.5M HCI中;(4)用甲基异丁基酮(MIBK)两步萃取法萃取大部分Fe(Ⅲ);(5)把水相的pH调至0,以便用二—2—乙基己基磷酸(D2EHPA)萃取钛并把含硅物质留存在水相中;(6)用0.5M Na_2CO_3,溶液洗脱有机相以获得偏钛酸的定量沉淀;(7)把偏钛酸悬浮水溶液过滤、烘干,最后在1000℃下引燃。浸出液的TiO_2总回收率大于92.5%(wt)。MIBK、HCI和D2EHPA可回收并再循环。 展开更多
关键词 钛铁矿 浸出液 二氧化钛 MIBK 偏钛酸 金属离子 甲基异丁基酮 氟化物溶液 氟酸 有机相
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憎水涂料
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《涂料文摘》 2001年第3期62-62,共1页
关键词 粉末涂料 憎水 氧化硅 水接触角 组合 有机硅 聚硅氧烷 氟化物溶液 全氟聚醚 偶联剂处理
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