现场制氟纯化及氟氮混合气体充装技术的研究

高纯氟气的生产是将电解槽电解产生的粗氟,经过特殊的工艺处理,除掉含量较高的氟化氢,使之纯化成为高纯氟气。从工艺角度探讨了如何处理氟气中的氟化氢,即将电解槽产出的普通氟气通过物理、化学方法纯化,除去大部分气体氟化氢,获得纯度达到99.0%的高纯氟气。然后将所制备的高纯氟气与氮气或其他惰性气体按一定比例混装,通过分压法来实现混合气的充装,可根据需求与配气混合,广泛应用于电子、新材料、航空航天、医药卫生等领域。