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题名电子级氟碳类产品生产设备管件的选材
被引量:1
- 1
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作者
马建修
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机构
佛山市华特气体有限公司
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出处
《低温与特气》
CAS
2014年第2期17-20,34,共5页
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文摘
随着太阳能、半导体、微电子等行业的快速发展,用作等离子刻蚀及清洗气体的电子级氟碳类气体的工业化研究与生产已成为国内外广泛关注的焦点。而生产设备工艺的选材是该类产品能否实现工业化的关键。结合自主研发的成功经验,介绍了氟碳类电子级气体工艺的设备选材原则,着重针对各个工段的生产要求,对设备、管件的选材、阀门选择进行了详细地阐述,同时对生产过程中的其他注意事项进行了补充和强调。
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关键词
电子级
氟碳类气体
生产设备
选材
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Keywords
electronic grade
fluorocarbons
production equipment
selection
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分类号
TQ117
[化学工程—无机化工]
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题名高纯八氟环丁烷的制备及其在芯片制造中的应用
被引量:1
- 2
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作者
张威
柳彤
王云飞
尚青
樊文端
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机构
中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司
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出处
《低温与特气》
CAS
2022年第3期1-5,共5页
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文摘
高纯八氟环丁烷是一种化学性质稳定且环保的氟碳类气体,在集成电路制造领域具有广泛应用。对八氟环丁烷的物化性质、制备方法及纯化方法进行了详细说明,介绍了高纯八氟环丁烷在集成电路制造领域的前瞻应用。
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关键词
八氟环丁烷
氟碳类气体
制备
纯化
芯片制造中的应用
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Keywords
octafluorocyclobutane
fluorocarbon gas
preparation
purification
application in integrated circuit
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分类号
TQ117
[化学工程—无机化工]
TQ124.3
[化学工程—无机化工]
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题名超声造影剂及其制备方法
- 3
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出处
《化工科技市场》
CAS
2002年第11期72-72,共1页
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文摘
本发明公开了一种超声造影剂及其制备方法。本超声造影剂是一种含有司班80,油酸、吐温80,60%石旋糖酐注射液和氟碳类气体混合均匀的微气泡悬液。其制备方法包括在无菌操作条件下的下列步骤:(1)将司班80,油酸、吐温80和6%右旋糖酐注射液用搅拌器充分混合均匀;(2)将场振仪的声振头置于经步骤(1)得到的液体液面以下使液体振荡,并在振荡过程中,从振荡液体的底部匀速推入氟碳类气体;(3)将经步骤(2)得到的混合液静置,并取中下层微气泡悬液封装瓶内低温保存,本超声造影剂制备简便,效果好且安全,具有很高的临床应用价值。
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关键词
超声造影剂
制备方法
中国人民解放军总医院
发明
司班80
油酸
吐温80
石旋糖酐
注射液
氟碳类气体
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分类号
TQ463
[化学工程—制药化工]
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