薄膜结构的复合氟离子敏感电极的研究

复合氟离子敏感电极是用热蒸发的方法在硅基片上制备的 .参比电极用热蒸发的银 -氯化银薄膜电极 ,为了提高氯化银薄膜的坚固性和可靠性 ,又在氯化银表面涂复一层10 0 0 的含氯离子的有机聚合物薄膜 .采用溶胶 -凝胶法 [1 ,2 ]制备二氧化硅对电极引线的焊点和器件的侧、背面进行封装 .因此这种电极不仅体积小、可靠性高 ,而且 ,由于这些薄膜可以在蒸发台内依次完成 ,减少了污染 ,适于大规模生产 .