氢敏元件的种类及半导体薄膜材料在其中的应用

随着氢燃料电池技术在汽车应用中的日益完善,对高性能氢敏元件的需求也更加迫切。本文介绍了采用不同工作原理制备的氢敏元件的种类,着重描述了半导体薄膜材料的工作原理和改性途径,并针对我国目前研究较少的Ga2O3新型薄膜材料进行了较为详细的综合论述。

新型高选择性氢敏元件

详细介绍了一种新型高选择性氢敏元件，该元件采用ＳｎＯ２ 作主材料、通过有效添加催化剂和以活性炭过滤网罩研制而成，它具有良好的气敏特性。

Pd栅MOS氢敏元件及其应用

氢气广泛应用于工业、国防、科研等各个部门,又是一种很有发展前途的能源。但是,在生产、使用、贮存、运输过程中,氢气极易泄漏、燃烧和爆炸。因此,对氢气的检测问题就摆到了人们的面前。Pd(钯)栅金属—氧化物—半导体场效应晶体管,即Pd—MOSFET,常称Pd栅MOS氢敏元件,或简称'氢敏元件',是一种具有高选择性的氢敏元件。它可以用于氢气泄漏报警、监测和定量分析,在宇航、军事、化工、电子、电力、冶金、通讯等部门都具有广泛的用途。

氢敏催化元件的研制

氢敏催化元件可用于高浓度氢气场所的监控。当氢气浓度为０．１％～４％时，具有良好线性。在静态条件下，其它可燃性气体均无干扰；元件的响应时间小于３０ｓ，恢复时间小于１ｍｉｎ。

氢敏变色材料

在众多的氢气泄漏检测方法中,光学色敏示氢检漏法显示出其本质安全的特点。简要介绍了主要类型的氢气检测方法及示氢敏感元件的工作原理,并对可逆氢敏变色材料的发展、应用作了展望。

一种氧化钼纳米纤维纸氢气传感器的制备方法

专利申请号:CN201510760530.0公开号:CN105334245A申请日:2015.11.10公开日:2016.02.17申请人:湖北大学本发明公开一种氧化钼纳米纤维纸氢气传感器的制备方法,是在基于专利《一种氧化钼纳米纤维纸及其制备方法》(201510308204.6)制得的氧化钼纳米纤维纸的一侧面溅射金属Pt/Pd纳米颗粒阵列方法,包括:在氧化钼纳米纤维纸上覆盖金属掩膜版,再在磁控真空溅射设备内溅射Pt/Pd纳米颗粒阵列构成电极,将溅射后的纳米纤维纸从中间切断即成为二个性能相同的氢敏元件,将氢敏元件封装到IC基座中即为氢气传感器成品。不同材质纳米颗粒、不同溅射时间及溅射功率,可制得不同响应和恢复时间的传感器。

用PECVD制备的薄膜H2敏元件研究①

用ＰＥＣＶＤ法制备了具有较高灵敏度与选择性的Ｈ２薄膜元件