微型薄膜集成氢气敏感器件的研制

采用将类光激发二极管（即N-Si/Thin-SiO2/Thin-Ta/PdCr/Pt结构）、PdCr合金薄膜电阻、Pt加热和感温双电阻温控系统等集成的方式,研制了微型薄膜集成氢气敏感器件,能稳定测量0~2%体积分数的氢气,且具有较快的响应和恢复时间。