碘过饱和KOH溶液对硅（110）晶面腐蚀的改善

将非金属元素碘作为硅的KOH腐蚀液的添加物,在对(100)和(110)单晶硅片的各向异性腐蚀中,获得了更为丰富的异向腐蚀特性和更为光滑的腐蚀表面.当温度在95℃,KOH腐蚀液中碘的摩尔比为0.5时,得到了粗糙度均小于10 nm的Si-(100)和(110)光洁表面,两晶面的腐蚀速率均为1.4μm/min.这两晶面在相同的条件下同时达到最佳光洁度,说明腐蚀速率是获得高光洁度表面的关键.实验还证明碘在热碱溶液中的稳定性和持久性要高于现在已被大量研究的双氧水和过硫等,尤其是对硅(110)表面光洁度的改善具有积极的促进作用.

一种基于MEMS工艺的新型THz喇叭天线的设计与仿真

提出了一种太赫兹(THz)天线结构:基于MEMS工艺的THz角锥喇叭天线。采用电磁场仿真软件Ansoft HFSS 11对所设计的天线进行仿真,结果表明该天线在2.5 THz～3.5 THz范围以内具有回波损耗优于-25 dB,增益大于15 dB的良好特性。天线可以通过MEMS工艺(硅基KOH刻蚀)制造,具有加工费用低的优点,适用于THz雷达,通信和成像系统等太赫兹系统。