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适用于光黏工艺的干涉仪公差保证方法
被引量:
5
1
作者
姚东
李钰鹏
+3 位作者
赵亚
王智
沙巍
王永宪
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第8期1945-1953,共9页
空间干涉测量系统是空间引力波探测的重要组成部分。本文介绍了一种全玻璃材料的差频激光干涉仪的组成结构和工作原理,对差频干涉仪中双相干光束的匹配对准难题,介绍了一种适用于光黏装配工艺的角度公差和位置公差保证方法。这种方法采...
空间干涉测量系统是空间引力波探测的重要组成部分。本文介绍了一种全玻璃材料的差频激光干涉仪的组成结构和工作原理,对差频干涉仪中双相干光束的匹配对准难题,介绍了一种适用于光黏装配工艺的角度公差和位置公差保证方法。这种方法采用了监测系统和微量调整机构相结合的方式,首先,监控系统可以实现光线相对位置的实时测量,给出被调整光线的调整方向和调整量;然后,微量调整机构可以在平面移动和轴向转动3个自由度上,对目标器件实现微米量级的微量调整;监控过程和调整过程反复迭代,可实现对光学元器件的高精度位置控制和角度控制。实验结果表明,在调整方向上角度公差优于80μrad,位置公差优于85μm。本方案基本满足差频激光干涉仪的装配精度需求,为后续更高精度的装配奠定基础。
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关键词
激光干涉仪
氢氧离子催化黏接
高精度测量
高精度装配
空间太极计划
下载PDF
职称材料
题名
适用于光黏工艺的干涉仪公差保证方法
被引量:
5
1
作者
姚东
李钰鹏
赵亚
王智
沙巍
王永宪
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学研究生院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第8期1945-1953,共9页
基金
中国科学院战略性先导科技专项(B)(No.XDB23030000)
吉林省重点科技研发项目(No.20180201039GX)
文摘
空间干涉测量系统是空间引力波探测的重要组成部分。本文介绍了一种全玻璃材料的差频激光干涉仪的组成结构和工作原理,对差频干涉仪中双相干光束的匹配对准难题,介绍了一种适用于光黏装配工艺的角度公差和位置公差保证方法。这种方法采用了监测系统和微量调整机构相结合的方式,首先,监控系统可以实现光线相对位置的实时测量,给出被调整光线的调整方向和调整量;然后,微量调整机构可以在平面移动和轴向转动3个自由度上,对目标器件实现微米量级的微量调整;监控过程和调整过程反复迭代,可实现对光学元器件的高精度位置控制和角度控制。实验结果表明,在调整方向上角度公差优于80μrad,位置公差优于85μm。本方案基本满足差频激光干涉仪的装配精度需求,为后续更高精度的装配奠定基础。
关键词
激光干涉仪
氢氧离子催化黏接
高精度测量
高精度装配
空间太极计划
Keywords
laser interferometer
hydroxide catalysis bonding
high accuracy measurement
high precision assembly
space Taiji plan
分类号
TP394.1 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
TH691.9 [机械工程—机械制造及自动化]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
适用于光黏工艺的干涉仪公差保证方法
姚东
李钰鹏
赵亚
王智
沙巍
王永宪
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
5
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职称材料
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