功率器件IGBT氢缓冲层工艺及特性研究

阐述IGBT氢缓冲层的实验分析,包括退火工艺、退火温度、IGBT器件性能关系,工艺结构与IGBT器件的性能关系,借助SIMS测量方法分析氢缓冲层经过400℃退火条件后氢掺杂分布变化。