AFM电场诱导氧化加工作用的分析

纳米加工技术是纳米器件研究的重要基础条件 ,纳米氧化结构则是纳米器件的重要组成部分。为了深化对AFM电场诱导氧化加工机理的理解 ,本文对Si表面的电场诱导氧化作用进行了实验研究 ,包括探针与样品之间实际电压的监测、不同掺杂Si材料加工门槛电压的分析及探针扫描速率对氧化物高度的影响。实验分析表明 。