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准单色亚稳态氦原子束源系统研究
1
作者
高洪涛
陈旭南
陈元培
《微细加工技术》
2002年第2期24-27,共4页
研究设计了一种亚稳态氦原子束源系统。采用电子激发方法产生亚稳态氦原子 ,利用喷嘴经等熵澎胀形成原子束 ,通过对该原子束的纵向速度进行选择 ,以及利用激光冷却来实现横向准直 ,制备出准单色亚稳态氦原子束。
关键词
准单色
亚稳态
氦原子束源系统
喷嘴
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职称材料
题名
准单色亚稳态氦原子束源系统研究
1
作者
高洪涛
陈旭南
陈元培
机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
出处
《微细加工技术》
2002年第2期24-27,共4页
基金
中国科学院创新基金资助项目
中国科学院光电研究所微细加工光学技术国家重点实验室开放基金资助项目
文摘
研究设计了一种亚稳态氦原子束源系统。采用电子激发方法产生亚稳态氦原子 ,利用喷嘴经等熵澎胀形成原子束 ,通过对该原子束的纵向速度进行选择 ,以及利用激光冷却来实现横向准直 ,制备出准单色亚稳态氦原子束。
关键词
准单色
亚稳态
氦原子束源系统
喷嘴
Keywords
s:metastable helium
collimation
quasi-monochromatic atom beam
分类号
O562.3 [理学—原子与分子物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
准单色亚稳态氦原子束源系统研究
高洪涛
陈旭南
陈元培
《微细加工技术》
2002
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