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准单色亚稳态氦原子束源系统研究
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作者 高洪涛 陈旭南 陈元培 《微细加工技术》 2002年第2期24-27,共4页
研究设计了一种亚稳态氦原子束源系统。采用电子激发方法产生亚稳态氦原子 ,利用喷嘴经等熵澎胀形成原子束 ,通过对该原子束的纵向速度进行选择 ,以及利用激光冷却来实现横向准直 ,制备出准单色亚稳态氦原子束。
关键词 准单色 亚稳态 氦原子束源系统 喷嘴
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