氦气纯度低导致PVD腔室冷泵异响问题的分析方法

冷泵是PVD设备重要的组成部分,主要负责保持腔室内的真空环境,它利用高纯度氦气的压缩膨胀循环来达到冷板低温,通过低温冷板捕捉腔室内的气体达到高真空度的环境。若冷泵出现故障,将直接影响腔室内的真空度,间接地影响晶圆的加工质量;本文主要介绍由于氦气纯度低导致冷泵异响的一种分析方法。

系留气球内囊氦空二元气体浓度分布特性试验研究

长期的氦气漏损和空气渗透使得体积一定的系留气球剩余浮力下降,为保证系留气球安全性,必须进行氦气提纯。为了提高氦气纯化的费效比,有必要开展系留气球内囊氦气的气体浓度分布规律研究。基于系留气球内囊气体的组成分析和系统技术指标要求,文中提出了一种适用于系留气球内囊氦气浓度分布特性研究的试验,给出了详细的试验方法并分析试验结果。

空调两器检漏氦气的纯化循环使用分析

空调行业在两器生产过程中需要使用氦质谱检漏仪对两器产品进行氦检,检漏过程中使用的氦气通过回收装置循环使用。当循环使用的氦气纯度较低时进行排空并补充高纯度氦气,以提高检漏过程中的氦气纯度。针对排空的低纯度氦气,为满足氦气检漏纯度要求,通过纯化可以将其纯度提高,实现氦气在空调两器检漏过程中的循环使用。

丰中子超重核研究原理性谱仪气体单元低温纯化系统的研制

重锕系核弹靶组合的多核子转移反应可能是产生丰中子超重核的重要突破口,因此设计建造适用于多核子转移反应的丰中子超重核研究的原理性谱仪不仅可以为探索超重核稳定岛奠定技术、方法和装置基础,而且对研究多核子转移反应机制有重要意义。丰中子超重核研究原理性谱仪中的气体单元需要持续不断的高纯度氦气,以停阻多核子转移反应产物并将降能后的离子引出到后续的实验装置。主要介绍新研制的丰中子超重核研究原理性谱仪气体单元低温纯化系统,此系统主要为气体单元提供可循环的高纯度氦气。经实验测定,低温纯化系统可以将99%的氦气纯化到99.999%以上,结合化学纯化单元,纯化后的氦气满足气体单元对高纯度氦气的需求。