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用于IC氧化层和氧化炉管在线监控的表面光电压技术 被引量:1
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作者 李清华 刘键 +2 位作者 罗俊一 李晴 郑国祥 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期120-125,共6页
表面光电压法 (SPV)是一种高灵敏度的、非破坏性的在线监控技术。能精确测量硅片的少子扩散长度、少子寿命、重金属沾污浓度等参数。对 IC生产的质量保证是非常重要的检测手段。文中介绍了用于监控 IC生产栅氧化层和氧化炉管系统的 SPV... 表面光电压法 (SPV)是一种高灵敏度的、非破坏性的在线监控技术。能精确测量硅片的少子扩散长度、少子寿命、重金属沾污浓度等参数。对 IC生产的质量保证是非常重要的检测手段。文中介绍了用于监控 IC生产栅氧化层和氧化炉管系统的 SPV技术 ,并讨论了铁以外其它沾污的 SPV检测。 展开更多
关键词 表面光电压 金属沾污 在线监控 SPV 集成电路 氧化 氧化炉管
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超(超)临界机组电站锅炉氧化皮脱落的原因分析与防治 被引量:3
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作者 王具宝 黄浩 姜磊 《锅炉技术》 北大核心 2015年第A02期40-44,共5页
炉管氧化皮脱落在超临界和超超临界机组中是一个比较普遍的问题。近年来,因氧化皮脱落堵塞已造成多起锅炉爆管事故。因此,对氧化皮的分析和研究具有非常重要的意义。为了控制此类事故发生,减少火电厂经济损失。主要对机组运行中炉管... 炉管氧化皮脱落在超临界和超超临界机组中是一个比较普遍的问题。近年来,因氧化皮脱落堵塞已造成多起锅炉爆管事故。因此,对氧化皮的分析和研究具有非常重要的意义。为了控制此类事故发生,减少火电厂经济损失。主要对机组运行中炉管氧化皮脱落的原因进行分析,并在此基础上提出针对性的预防和治理措施。 展开更多
关键词 炉管氧化皮脱落 超临界 防治措施
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超临界机组电站锅炉氧化皮脱落的分析与防治 被引量:3
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作者 王具宝 《山东工业技术》 2019年第10期205-206,共2页
炉管氧化皮脱落在超临界机组中是一个比较普遍的问题。近年来因氧化皮脱落堵塞已造成多起锅炉爆管事故。因此对氧化皮的分析和研究具有非常重要的意义。为控制此类事故发生,减少火电厂经济损失,本文主要对机组运行中炉管氧化皮脱落的原... 炉管氧化皮脱落在超临界机组中是一个比较普遍的问题。近年来因氧化皮脱落堵塞已造成多起锅炉爆管事故。因此对氧化皮的分析和研究具有非常重要的意义。为控制此类事故发生,减少火电厂经济损失,本文主要对机组运行中炉管氧化皮脱落的原因分析,并在此基础上提出针对性的预防和治理措施。 展开更多
关键词 炉管氧化皮脱落 超临界 防治措施
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