用于IC氧化层和氧化炉管在线监控的表面光电压技术

表面光电压法 (SPV)是一种高灵敏度的、非破坏性的在线监控技术。能精确测量硅片的少子扩散长度、少子寿命、重金属沾污浓度等参数。对 IC生产的质量保证是非常重要的检测手段。文中介绍了用于监控 IC生产栅氧化层和氧化炉管系统的 SPV技术 ,并讨论了铁以外其它沾污的 SPV检测。

超（超）临界机组电站锅炉氧化皮脱落的原因分析与防治

炉管氧化皮脱落在超临界和超超临界机组中是一个比较普遍的问题。近年来，因氧化皮脱落堵塞已造成多起锅炉爆管事故。因此，对氧化皮的分析和研究具有非常重要的意义。为了控制此类事故发生，减少火电厂经济损失。主要对机组运行中炉管氧化皮脱落的原因进行分析，并在此基础上提出针对性的预防和治理措施。

超临界机组电站锅炉氧化皮脱落的分析与防治

炉管氧化皮脱落在超临界机组中是一个比较普遍的问题。近年来因氧化皮脱落堵塞已造成多起锅炉爆管事故。因此对氧化皮的分析和研究具有非常重要的意义。为控制此类事故发生,减少火电厂经济损失,本文主要对机组运行中炉管氧化皮脱落的原因分析,并在此基础上提出针对性的预防和治理措施。