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氧化物功能薄膜材料在柔性传感器件中的应用
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作者 潘泰松 廖非易 +3 位作者 姚光 王宇轩 高敏 林媛 《中国科学:信息科学》 CSCD 北大核心 2018年第6期635-649,共15页
柔性传感器件因其在医疗健康、人机交互等应用中的巨大前景,受到了广泛关注,也是近年来的研究热点.作为无机功能材料中的一类重要材料,氧化物功能薄膜因其具有丰富的电子学、光学、热学、力学、磁学等方面性质已经在各种电子和光电子器... 柔性传感器件因其在医疗健康、人机交互等应用中的巨大前景,受到了广泛关注,也是近年来的研究热点.作为无机功能材料中的一类重要材料,氧化物功能薄膜因其具有丰富的电子学、光学、热学、力学、磁学等方面性质已经在各种电子和光电子器件中得到了广泛的应用.将氧化物功能薄膜应用于柔性传感器件,有望进一步提高柔性传感器件的性能,并为新型柔性传感器件的设计提供材料保障.本文分析了目前氧化物功能薄膜在柔性传感器件中应用所面临的重点科学技术问题,并介绍了近年来在基于氧化物功能薄膜的柔性传感器件所涉及的关键技术和器件应用上的研究进展. 展开更多
关键词 无机功能材料 氧化物功能薄膜 柔性器件 传感器件
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功能氧化物薄膜液相沉积制备及应用研究进展 被引量:2
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作者 刘明言 Malayeri M.Reza Muller-Steinhagen Hans 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期272-277,共6页
回顾了液相沉积表面涂覆方法的历史起源。重点阐述了液相沉积方法制备具有光催化活性和紫外光诱导下的双亲性的TiO2薄膜材料的制备工艺,在光催化反应、自清洁材料、抗菌、防腐、防垢等领域的应用研究进展。提出了深化液相沉积微观机理研... 回顾了液相沉积表面涂覆方法的历史起源。重点阐述了液相沉积方法制备具有光催化活性和紫外光诱导下的双亲性的TiO2薄膜材料的制备工艺,在光催化反应、自清洁材料、抗菌、防腐、防垢等领域的应用研究进展。提出了深化液相沉积微观机理研究,制备增强光催化活性和扩大可接收太阳辐射范围的功能薄膜,开发节能防垢等多功能表面以及从循环经济角度研究液相沉积过程等进一步研究的方向。 展开更多
关键词 功能氧化物薄膜 液相沉积 氧化 涂层 表面工程
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