Ti基IrO_2+Ta_2O_5涂层中氧化物附着量的XRF分析

对传统热解法制得的 Ti基 Ir O2 +Ta2 O5 涂层进行了 X射线能谱 ( EDX)及 X射线衍射 ( XRD)测试分析。结果表明 ,涂层中 Cl元素的含量随温度上升而降低 ,至 5 0 0℃后已降为较低数值 ( 2 % ) ,此温度下 Ir组元几乎以 Ir O2 晶体相存在。Ti基金属的热重分析 ( TGA)表明 ,5 0 0℃下经 4h预氧化后 ,该基体金属已不再氧化增重。结合涂层 EDX、XRD及 Ti基 TGA测试结果 ,确定了 X射线荧光分析 ( XRF )用标准试样的制备条件 ,并同时测定了不同成分及温度所得 Ir O2 +Ta2 O5 涂层中两种氧化物的附着量 。