沉淀剂PH值对氧化铈抛光粉颗粒形貌的影响

氧化铈抛光粉在玻璃抛光不仅起到机械磨削的作用,还参与了化学反应,是目前应用最广泛,性能最好的抛光粉。但不同领域不同材质应用的氧化铈抛光粉都有所差异,最本质的影响是晶体微观颗粒形貌。本文主要研究合成过程中改变沉淀剂碳酸氢铵的PH值对氧化铈抛光粉颗粒形貌的影响。

铈基抛光粉抛光工艺的多响应稳健优化设计

以铈基抛光粉的化学机械抛光工艺过程为研究对象设计正交试验,选取抛光时间、抛光盘转速、抛光浆固含量、抛光浆pH值作为可控因子,分析其对铈基抛光粉的切削率及划痕度这2个重要技术参数的影响。在试验结果的基础上考虑各响应的主客观权重,结合信噪比与满意度函数构建多响应稳健优化设计模型,获得确保抛光过程稳健性的较优工艺参数组合,从而达到制备出高性能的稀土抛光浆液的目的。优化结果表明该方法在解决多响应变量稳健优化的问题上具有一定的有效性,可为相关生产加工企业在改善工艺质量方面提供参考。