氧化铟纳米线在紫外光探测下的特性分析

采用激光剥离等手段设计制作氧化铟纳米线器件。根据纳米线的光检测特性,指出将氧化铟纳米线的器件暴露于紫外光下,纳米线的电导会增大,器件响应时间变短,栅极阈值电压变化大的特性,重点介绍器件对不同波长紫外光的灵敏度。最后用实验证明了紫外光可以作为氧化铟纳米线化学传感器的"气体清理剂",使器件恢复时间缩短至80s。