基于ZnO/PZT结构的单端声表面波器件研究

本文设计了一个基于ZnO/PZT结构的声表面波器件,使用COMSOL Multiphysics软件对其进行有限元仿真,仿真发现器件的反谐振频率为133.75MHz,谐振频率为133.66MHz。根据仿真结果制备了相应的SAW器件,实验所用ZnO薄膜与PZT薄膜采用射频磁控溅射方法沉积,测试其谐振频率为127.0MHz。