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一种制备高质量氧化锌基单晶薄膜的方法
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《无机盐工业》 CAS 北大核心 2005年第2期61-61,共1页
本发明公开了一种制备高质量氧化锌基单晶薄膜的方法,其步骤为:对蓝宝石(0001)衬底表面进行预处理和氮化处理,修正和控制蓝宝石(0001)衬底的原子结构,以实现ZnO基薄膜的极性控制生长和消除旋转畴;采用在低、中、高3个温度分别生长... 本发明公开了一种制备高质量氧化锌基单晶薄膜的方法,其步骤为:对蓝宝石(0001)衬底表面进行预处理和氮化处理,修正和控制蓝宝石(0001)衬底的原子结构,以实现ZnO基薄膜的极性控制生长和消除旋转畴;采用在低、中、高3个温度分别生长ZnO基薄膜的缓冲层、三维岛状层和外延层,从而实现失配应变的充分释放,得到单一Zn极性和O极性的原子级光滑的高质量ZnO基薄膜。 展开更多
关键词 制备方法 氧化单晶薄膜 蓝宝石 氮化处理 ZNO
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紫外光照下ZnO基薄膜的光电和气敏特性研究 被引量:4
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作者 刘宏伟 孙建平 +1 位作者 惠春 徐爱兰 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期13-15,共3页
用sol-gel法制备ZnO及掺杂Al3+的ZnO半导体薄膜,利用XRD和AFM对薄膜结构和形貌进行表征。测量了不同掺Al量的薄膜在紫外光照射下电阻的变化,发现随着掺Al量的增大,薄膜在紫外光(波长为365nm)照射后其电阻先减小后增大。在室温下,对薄膜... 用sol-gel法制备ZnO及掺杂Al3+的ZnO半导体薄膜,利用XRD和AFM对薄膜结构和形貌进行表征。测量了不同掺Al量的薄膜在紫外光照射下电阻的变化,发现随着掺Al量的增大,薄膜在紫外光(波长为365nm)照射后其电阻先减小后增大。在室温下,对薄膜在不同浓度的CO气体下的敏感特性进行了研究,随着气体浓度的增加,薄膜电阻值逐渐减小;随着掺Al量的增大,气敏灵敏性先逐渐增大后减小,发现当铝含量为r(Al:ZnO)=0.5%时,对CO气体的灵敏度最大,并对紫外光照射下气敏半导体薄膜的气敏机理进行了简单分析。 展开更多
关键词 电子技术 氧化锌基薄膜 溶胶-凝胶法 紫外光 气敏性能
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氩氧分压比对ZnO薄膜的结构及电学性能的影响 被引量:2
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作者 李星活 王聪 彭强 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期16-19,23,共5页
采用射频磁控溅射法制备了氧化锌基薄膜晶体管(ZnO-TFTS),研究了氩氧分压比对ZnO薄膜生长以及ZnO-TFT电学特性的影响。结果表明:氩氧分压比为40/16和40/8时制得的ZnO-TFT样品,都存在氧过量现象,生长晶向都存在一定左偏移,有源层沟道都为... 采用射频磁控溅射法制备了氧化锌基薄膜晶体管(ZnO-TFTS),研究了氩氧分压比对ZnO薄膜生长以及ZnO-TFT电学特性的影响。结果表明:氩氧分压比为40/16和40/8时制得的ZnO-TFT样品,都存在氧过量现象,生长晶向都存在一定左偏移,有源层沟道都为n型,均工作在增强型模式下,饱和特性都较好,且都呈现出一个较大的负方向漏电流,但氩氧分压比为40/16时制备的ZnO薄膜结晶性更好,其所对应的ZnO-TFT具有更高的场效应迁移率和开关电流比,以及更低的亚阈值摆幅。 展开更多
关键词 氧化 氩氧分压比 氧化锌基薄膜晶体管 射频磁控溅射法 场效应迁移率 输出特性 转移特性
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Spontaneous Cracking of Graphite Oxide Sheet on Oxygen Deficient ZnO Film
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作者 刘金养 蔡洪冰 +3 位作者 丁怀义 张琨 潘楠 王晓平 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 2014年第1期87-91,I0004,共6页
Graphite oxide (GO) is an important material of wide applications. Owing to its good mechanical property, the GO sheet is always expected to be stable and remains flat on various substrates. Here we demonstrate for ... Graphite oxide (GO) is an important material of wide applications. Owing to its good mechanical property, the GO sheet is always expected to be stable and remains flat on various substrates. Here we demonstrate for the first time an unexpected behavior of the GO sheet on oxygen deficient ZnO film, namely the spontaneous cracking of the entire GO sheet into many small pieces. This unusual behavior has been carefully investigated by a series of control experiments and SEM, XPS and PL measurements. It is anticipated that the oxygen vacancies in the oxygen deficient ZnO film can annihilate epoxy groups of the GO sheet, resulting in the unzipping of the aligned epoxy groups on GO sheet. A prototype of the white light detector made from the cracked GO sheet is fabricated and the device demonstrates high stability and good reproducibility. 展开更多
关键词 Graphite oxide Epoxy group ZnO film Oxygen vacancy PHOTORESPONSE
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