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氮化铝单晶薄膜及其制备方法
1
《无机盐工业》
CAS
2004年第4期62-62,共1页
关键词
氮化铝
单晶
薄膜
制备
射频磁控溅射方法
氧化镁单晶基片
下载PDF
职称材料
题名
氮化铝单晶薄膜及其制备方法
1
出处
《无机盐工业》
CAS
2004年第4期62-62,共1页
关键词
氮化铝
单晶
薄膜
制备
射频磁控溅射方法
氧化镁单晶基片
分类号
TB43 [一般工业技术]
下载PDF
职称材料
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1
氮化铝单晶薄膜及其制备方法
《无机盐工业》
CAS
2004
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