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硅/氧浓度初始分布对硅晶圆内V-O_(2)对演变影响的仿真
1
作者
关小军
关宇昕
王善文
《徐州工程学院学报(自然科学版)》
CAS
2021年第4期35-42,共8页
为了揭示自间隙硅原子相对浓度和间隙氧原子相对浓度的初始分布状态对低温退火期间硅晶圆内V-O_(2)对介观演变的影响,应用原有相场仿真模型及其改进模型,仿真了两个不同的点缺陷相对浓度初始分布状态下退火的硅晶圆内V-O_(2)对演变过程...
为了揭示自间隙硅原子相对浓度和间隙氧原子相对浓度的初始分布状态对低温退火期间硅晶圆内V-O_(2)对介观演变的影响,应用原有相场仿真模型及其改进模型,仿真了两个不同的点缺陷相对浓度初始分布状态下退火的硅晶圆内V-O_(2)对演变过程.结果表明:在文章的仿真条件下,均匀分布的硅原子相对浓度未影响V-O_(2)对演变,这与不考虑硅原子存在的情况相同;与均匀分布状态相比,初始的氧原子相对浓度随机均匀分布状态使得V-O_(2)对生成速度减慢.
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关键词
仿真
硅晶圆
V-O_(2)对
自
间隙
硅
原子
间隙
氧
原子
初始的浓度分布
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职称材料
钼含量和均匀化处理冷却方式对β型Ti-Mo合金中点缺陷弛豫的影响
2
作者
周正存
朱晓斌
王幸福
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第1期10-15,共6页
采用真空电弧熔炼制备β型Ti-xMo(x为质量分数/%,3~24)合金,并进行950℃×20 min均匀化处理,随后分别水冷和炉冷至室温,通过内耗测试结合物相和微观结构分析,研究了钼含量和冷却方式对该合金点缺陷弛豫的影响。结果表明:炉冷和水冷T...
采用真空电弧熔炼制备β型Ti-xMo(x为质量分数/%,3~24)合金,并进行950℃×20 min均匀化处理,随后分别水冷和炉冷至室温,通过内耗测试结合物相和微观结构分析,研究了钼含量和冷却方式对该合金点缺陷弛豫的影响。结果表明:炉冷和水冷Ti-xMo合金中均出现2个Snoek型驰豫峰,炉冷Ti-xMo合金的弛豫峰随钼含量的变化特征与水冷合金相似。2种冷却方式下Ti-xMo合金在加热时的低温峰峰高随钼含量的增加而增大,但峰温几乎不变,峰高的增大与β相和间隙氧原子含量的增多有关;除Ti-3Mo合金外,其余合金高温峰的峰高和峰温都随钼含量增加而增大,峰高和峰温的增大与钼和氧的相互作用增强有关。
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关键词
点缺陷弛豫
β型Ti-Mo合金
钼含量
间隙
氧
原子
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职称材料
TD3合金氧化性能的第一性原理研究
3
作者
贺龙宾
王文波
+4 位作者
张建林
王旭东
段星路
刘邱祖
李秀燕
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第11期4237-4242,共6页
采用第一性原理计算方法研究了TD3合金中O相、B2相和α2相的合金原子空位形成能及氧原子在三相中的能量稳定性和扩散行为。计算结果表明:三相中的Al原子空位形成能均低于Ti和Nb,有利于TD3合金表面生成α-Al_(2)O_(3)占主导地位的氧化膜...
采用第一性原理计算方法研究了TD3合金中O相、B2相和α2相的合金原子空位形成能及氧原子在三相中的能量稳定性和扩散行为。计算结果表明:三相中的Al原子空位形成能均低于Ti和Nb,有利于TD3合金表面生成α-Al_(2)O_(3)占主导地位的氧化膜。氧原子在O相、B2相和α2相的八面体间隙位置的间隙能低于四面体间隙位置处,且在富钛八面体间隙位置的间隙能最低,最低氧原子间隙能分别为–5.0815、–4.9425和–5.9315 eV。氧原子在O相、B2相和α2相沿最佳扩散路径扩散需要跨越的势垒分别为0.812、1.913和1.164 eV。
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关键词
第一性原理
TD3合金
空位形成能
氧原子间隙能
抗
氧
化性能
原文传递
题名
硅/氧浓度初始分布对硅晶圆内V-O_(2)对演变影响的仿真
1
作者
关小军
关宇昕
王善文
机构
山东大学材料科学与工程学院
Outpie Partners B.V.
出处
《徐州工程学院学报(自然科学版)》
CAS
2021年第4期35-42,共8页
基金
国家自然科学基金项目(51375269)
山东大学晶体材料国家重点实验室开放课题(KF1303)。
文摘
为了揭示自间隙硅原子相对浓度和间隙氧原子相对浓度的初始分布状态对低温退火期间硅晶圆内V-O_(2)对介观演变的影响,应用原有相场仿真模型及其改进模型,仿真了两个不同的点缺陷相对浓度初始分布状态下退火的硅晶圆内V-O_(2)对演变过程.结果表明:在文章的仿真条件下,均匀分布的硅原子相对浓度未影响V-O_(2)对演变,这与不考虑硅原子存在的情况相同;与均匀分布状态相比,初始的氧原子相对浓度随机均匀分布状态使得V-O_(2)对生成速度减慢.
关键词
仿真
硅晶圆
V-O_(2)对
自
间隙
硅
原子
间隙
氧
原子
初始的浓度分布
Keywords
simulation
silicon monocrystalline wafer
V-O_(2)pair
self-interstitial silicon atom
interstitial oxygen atom
initial concentration distribution
分类号
TG111 [金属学及工艺—物理冶金]
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职称材料
题名
钼含量和均匀化处理冷却方式对β型Ti-Mo合金中点缺陷弛豫的影响
2
作者
周正存
朱晓斌
王幸福
机构
广东科技学院机电工程学院
苏州市职业大学机电工程学院
中国科学院合肥物质科学研究院
出处
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第1期10-15,共6页
基金
江苏省高等学校基础科学研究面上项目(22KJB150038)
安徽省关键科学技术研究计划项目(2021001)
+1 种基金
安徽省自然科学基金资助项目(2108085ME142)
苏州市职业大学科研平台资助项目(201804000050)。
文摘
采用真空电弧熔炼制备β型Ti-xMo(x为质量分数/%,3~24)合金,并进行950℃×20 min均匀化处理,随后分别水冷和炉冷至室温,通过内耗测试结合物相和微观结构分析,研究了钼含量和冷却方式对该合金点缺陷弛豫的影响。结果表明:炉冷和水冷Ti-xMo合金中均出现2个Snoek型驰豫峰,炉冷Ti-xMo合金的弛豫峰随钼含量的变化特征与水冷合金相似。2种冷却方式下Ti-xMo合金在加热时的低温峰峰高随钼含量的增加而增大,但峰温几乎不变,峰高的增大与β相和间隙氧原子含量的增多有关;除Ti-3Mo合金外,其余合金高温峰的峰高和峰温都随钼含量增加而增大,峰高和峰温的增大与钼和氧的相互作用增强有关。
关键词
点缺陷弛豫
β型Ti-Mo合金
钼含量
间隙
氧
原子
Keywords
point defect relaxation
β-type Ti-Mo alloy
Mo content
interstitial oxygen atom
分类号
TG115.24 [金属学及工艺—物理冶金]
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职称材料
题名
TD3合金氧化性能的第一性原理研究
3
作者
贺龙宾
王文波
张建林
王旭东
段星路
刘邱祖
李秀燕
机构
太原理工大学
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第11期4237-4242,共6页
基金
山西省自然科学基金(201801D121098)
山西省青年自然科学基金(201801D221339)。
文摘
采用第一性原理计算方法研究了TD3合金中O相、B2相和α2相的合金原子空位形成能及氧原子在三相中的能量稳定性和扩散行为。计算结果表明:三相中的Al原子空位形成能均低于Ti和Nb,有利于TD3合金表面生成α-Al_(2)O_(3)占主导地位的氧化膜。氧原子在O相、B2相和α2相的八面体间隙位置的间隙能低于四面体间隙位置处,且在富钛八面体间隙位置的间隙能最低,最低氧原子间隙能分别为–5.0815、–4.9425和–5.9315 eV。氧原子在O相、B2相和α2相沿最佳扩散路径扩散需要跨越的势垒分别为0.812、1.913和1.164 eV。
关键词
第一性原理
TD3合金
空位形成能
氧原子间隙能
抗
氧
化性能
Keywords
first principles
TD3 alloy
vacancy formation energy
oxygen interstitial energy
oxygen diffusion
oxidation performance
分类号
TG146.23 [金属学及工艺—金属材料]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅/氧浓度初始分布对硅晶圆内V-O_(2)对演变影响的仿真
关小军
关宇昕
王善文
《徐州工程学院学报(自然科学版)》
CAS
2021
0
下载PDF
职称材料
2
钼含量和均匀化处理冷却方式对β型Ti-Mo合金中点缺陷弛豫的影响
周正存
朱晓斌
王幸福
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
3
TD3合金氧化性能的第一性原理研究
贺龙宾
王文波
张建林
王旭东
段星路
刘邱祖
李秀燕
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
0
原文传递
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