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Φ125mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究
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作者 郝玉清 张果虎 +4 位作者 常青 方锋 吴志强 万关良 秦福 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第6期466-468,共3页
为控制氧径向均匀性,选择Φ350mm热场。增加晶转速度可以改善氧径向均匀性,但石英坩埚转速对氧径向均匀性没有明显影响。
关键词 硅单晶 氧径向均匀性 热场 晶转速度
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