热线型氨敏元件的研制

本实验测定了掺杂贵金属及Ｖ２Ｏ５等金属氧化物对此热线型氨敏元件的灵敏度及选择性的影响。发现加入０．７５％的金，再浸沉１％的钒酸盐溶液对氨有较高的灵敏度和较好的选择性。对１００ｐｐｍ的ＮＨ３响应时间为５０ｓ。此热线型氨敏元件具有功耗低（１５０ｍＷ），初期稳定时间短，长期稳定性较好的特点。

Pt薄膜平面热线型NH_3敏元件

本文介绍了铂薄膜平面热线型氨传感器.它是利用高频溅射在硅片上制作铂膜电阻,然后涂以气敏涂料,600℃下烧结90分钟而制成的NH_3敏元件.同时讨论了几种元素对元件灵敏度及选择性的影响,发现以SnO_2为基体材料加入少量的Au对氨气有较高的灵敏度,以WO_3为主体材料加少量钒酸盐的保护层,对元件的选择性有所改善.